图为公司员工正准备将含氟电子气体外运出口。

□记者 傅长盛 文/图

“吃干榨尽”：将含氟“三废”全收纳,并转化为有用辅助原料

6月1日，在上杭县蛟洋工业园区德尔科技的电解制氟车间内，输气管道交错密布，含氟电子气体在这里通过化学反应产生。制造含氟电子气体的技术人员正在精馏塔前调试压力，而工人们正在车间里忙碌，把一瓶瓶含氟气罐装载好，并向上海发货。

德尔科技是园区龙头企业紫金铜业产业链的下游配套企业。紫金铜业是龙岩市最大规模的工业企业之一，2019年生产阴极铜28万吨。在铜冶炼过程中，会产生大量硫酸、磷酸等“副产品”，德尔科技是众多食物链下端的“饿狼”的代表之一，负责将硫磷氟等废弃物废液、废渣、废气“吃干榨尽”，进行精细化工加工，变废为宝。

2014年成立的德尔科技从无到有、从小到大、从弱到强，产业布局与上杭县金铜产业链的氟、磷产业延伸高度契合。项目最大的特色就是原料就近综合利用，各个项目互为辅助原料，最终实现产业循环。

以德尔科技旗下企业龙德新能源所生产的六氟磷酸锂为例，国内目前生产的六氟磷酸锂大多用无水氟化氢做原料，按现有工艺，每生产1吨六氟磷酸锂就有1吨无水氟化氢进入“三废”处理系统，处理成本和环保压力非常大。龙德新能源融合国际上最成熟的湿法工艺和最先进的干法工艺，采用先进节能降耗技术，在国内率先实现三废回收和循环利用，可将尾气中的氟化氢气体全部回收利用，剩余的氯化氢转化为氯化钙，供应给德尔科技全资子公司龙氟化工做辅助原料。这样不但没有环保压力，还能降低生产成本，提高经济效益。

德尔科技董事长助理林德荣介绍，今年德尔科技及其子公司在抗疫中持续不间断生产，一季度累计实现订单2.37亿元，创同期历史最好水平，其中含氟特种电子气体总产能同比增长100%，高附加值产品三氟甲烷、六氟乙烷、八氟丙烷和八氟环丁烷等销量大幅增长，特别是出口日本东芝、韩国三星和台积电的订单大幅增长，成为园区最大亮点。

“点石成金”：深耕半导体级湿电子化学品全产业链

不过，含氟电子气体只是德尔科技“吃干榨尽”的一个维度。德尔科技更高端的产业方向，不仅能变废为宝，更是“点石成金”，那就是生产半导体级湿电子化学品材料。

半导体级湿电子化学品主要用于芯片的清洗、刻蚀、氧化、掺杂、成膜、光刻和研磨,是超大规模集成电路制造过程中必不可少的基础化工材料。尽管我国是全球最大的芯片消费市场，但芯片产业一直是薄弱产业，目前我国高端湿电子化学品90%靠进口，基本被西方国家垄断，国内厂商主要生产中低端产品(SEMI国标标准G3左右)。

这对刚进入半导体市场的德尔科技来说，是机遇，也是挑战，也成为公司主攻的重点。董事长华祥斌介绍，德尔科技目前共有13项含氟电子气体和23项湿电子化学品，每个产品都必须经过研发、试验验证后，才能进入项目投建和运营。为了获取关键参数往往要经过上百次的试验验证，研究和试验人员在现场盯上几天几夜已成为常态。

因此，自主研发才是产业链高端战略的必由之路。德尔科技注重高端产品的研发和尖端技术的产业转化，投巨资搭建从小试到中试到工业化试验多级试验线；同时，正在组建院士专家工作站，为新产品、新技术的研发提供顶层的技术支撑。公司求才若渴，从国内外网罗一大批产业经验丰富的精英。2014年，德尔科技引进中国核工业集团814厂技术团队，主攻产品四氟化碳、六氟化硫、三氟甲烷和三氟化氯等30余种电子级含氟特种气体；2017年6月，德尔科技引进杨瑞甫博士技术团队，建设年产6000吨六氟磷酸锂项目，目前已实现开机投产。2018年5月，德尔科技引进台湾湿电子化学品资深专家团队及运营管理高端人才，实施年产36万吨半导体级湿电子化学品项目。

目前，德尔科技已拥有一大批高精尖的有丰富产业经验的人才，这些人才涵盖了研发、试验、工程设计、生产、品控、营销等多个领域，包括多名研究员级技术专家，6个技术团队的上百名技术骨干，其中有12名专家被评为福建省引进高层次人才，是中国大陆目前极少数实现了SEMI-G5电子级超高纯电子化学品产业化的技术管理团队。

在技术和人才的双轮驱动下，德尔科技很快就形成自己的核心竞争力，项目也快速有序地推进。2019年11月，国家顶级创新创业赛事——第八届中国创新创业大赛新材料行业总决赛落下帷幕，德尔科技一路过关斩将，获得专家评委的一致好评，并荣获成长企业组全国二等奖。

目前，德尔科技已成为国内极少实现G5级湿电子化学品系列化、规模化生产的公司之一。其自主研发的国内首台套全自动氟气发生器，经过近三年的现场测试，运行情况良好，设备可以很好解决芯片和显示器制程的现场供氟问题；研制的三氟化氯制备和提纯技术也填补了国内空白，被列入到国家02重大科技专项的重要配套材料；在高纯试剂方面，SEMI-G5级产品很多都填补了国内市场空白。德尔科技的含氟特种电子气体等产品已经进入韩国三星、日本东芝、夏普、德国林德、法国法液空、英特尔、美光和台积电等国际巨头供应链，并与中芯国际、国家电网、京东方、华星光电和天马微电子等国内知名企业建立了稳定供应关系。